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MF-OV系列无氧烘箱(水平送风)
    发布时间: 2023-06-28 09:55    

MF-OV系列无氧烘箱设备是专门设计用来满足半导体行业集成电路配套烘箱,它具有先进的设计理念与工艺技术,可满足不同产品的品质要求。


MF-OV系列无氧烘箱(水平送风)

用途特点:

本产品适用于半导体加工,LCD面板,PDP面板,触摸屏等生产工艺;该设备采用加热循环方式,进行精确的温度控制。

技术特点: 

采用水平送风系统的高性能腔体;

烘箱采用双体式腔设计,内腔采用全不锈钢镜面,并且为整体式焊接工艺,保证了设备在运行时的腔体内清洁和预防了产品表面沾污

整体框架的高度和水平度可通过地脚螺栓实现微调;

优异的热工性能,使加热性能大大提高

双层密封设计,保证更低的能耗,满足清洁生产的需求。

过程控制:

多段式程序控制,完全满足现场各种工艺需求;

与配套AUTORECIPE软件,实时温度监控软件,可实现产品烘箱运行参数管理与生产运行记录、烘箱操作日志等,提高生产效率、控制产品品质。

设备特点:

坚持工艺优先的设计原则即先制定最为优化的工艺配置,再确定设备结构和布局,以确保工艺最稳定,材料利用最合理,力求提升设备稳定性和降低运行成本;

本着人性化的设计理念即在细节上充分考虑现场情况,并不断完善设计,使现场使用者更加方便地使用,维护本烘箱;

可以提供各种标准和非标准腔设计,包括温度范围,容量大小和烘箱形状等;

温度均匀度依照GBT30435-2013

设备安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的标准

提供高性价比的烤箱性能温度均匀性、温度稳定性、升温速率、温度恢复时间等工艺条件;

满足SECS/GEM标准的半导体封装测试设备接口,工厂软件可通过其SECS/GEM接口对烘箱进行全面控制和监控;

提供相应的检测报告,烘箱温度校正报告、烘箱噪音检测、烘箱表面SGS检测等;

配套完整的产品使用手册及说明

   

型号

MF-OV****

1800

2640

2700

4500

循环系统

热风循环系统

性能参数

温度范围

RT. + 25°C ~250°C

温度波动范围

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

温度均匀性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升温时间

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱结构

烘箱外腔体选材

烤漆板、树脂类板、不锈钢

烘箱内腔体选材

SUS304镜面不锈钢

保温材料

高密度陶瓷纤维棉

加热

无尘加热丝或不锈钢加热管

冷却方式

水冷却、风冷却、多段式冷却

内腔尺寸W *H *D mm

800 *640* 960

640 *640 * 550

700 *640 * 560

500 *640* 500

外形尺寸W * H *D mm

1500 * 900 * 1830

1400* 1050 * 1900

1460 * 1050 * 1900

2340 * 1050 * 1900

容积 (L)

490

450

490

640

使用环境

温度范围: 小于 + 45°C  湿度范围: 小于 75%rh

动力配置

电源配置

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

20KVA

40KVA


基本功能配置:

漏电保护器;

电磁门锁;

加热保险丝;

电源缺相保护;

超温保护器;

低温保护器;

加热器防干烧保护;

马达转速检测保护;

UPS

N2压力检测;

N2流量检测;

水流量检测;

功能选配:

腔体氧含量在线检测;

高低温联动检测;

腔体压力检测;

自动排风阀;

废气沉淀回收装置;

腔体空烧排污;

腔体内除尘过滤网装置;










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