用途特点:
本产烘箱品适用于半导体加工,LCD面板,PDP面板,触摸屏等生产工艺。
技术特点:
自动化操作系统满足现场无人操作的需求,自动开关门系统完全融入工厂自动化系统中,根据远程指令动作及反馈;
更加安全的烘箱,自动门状态、动作联锁及多重保护措施,避免了系统间干涉出现;
烘箱采用双门设计,自动门实现自动生产,手动门进行保养与应急生产。腔体采用全不锈钢镜面,并且为整体式焊接工艺,保证了烘箱在运行时的腔体内清洁和预防了产品表面的沾污;整体框架设计能与外部输送设备机构联动,保证动作一致性。
过程控制:
烘箱加热采用多段式程序控制,完全满足现场各种工艺需求;
与工厂MES,CIM,EAP等配套软件使用,可实现烘箱温度监控,产品运行参数管理与生产运行记录。
设备特点:
可以提供各种标准和非标准腔体设计,包括温度范围,容量大小和烘箱形状等;
温度均匀度依照GBT30435-2013;
设备安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的标准
提供高性价比的烤箱性能。温度均匀性、温度稳定性、温升速率、温度恢复时间等工艺条件;
满足SECS/GEM标准的半导体封装测试设备接口,工厂软件可通过其SECS/GEM接口对烘箱进行全面控制和监控;
提供相应的检测报告,烘箱温度校正报告、烘箱噪音检测、烘箱表面SGS检测等;
配套完整的产品使用手册及说明。
型号 | MF-AO****W/A |
1640 | 2640 |
循环系统 | 热风循环系统 |
性能参数 | 温度范围 | RT. + 25°C~250°C |
温度波动范围 | (0-100℃)<±1℃(100-200℃)<±2℃ |
温度均匀性 | (0-100℃)<1℃(100-200℃)<2℃ |
升温时间 | < 30Min(175℃)& < 40Min(200℃) |
烘箱结构 | 烘箱外腔体选材 | 烤漆板、不锈钢 |
烘箱内腔体选材 | SUS304 |
保温材料 | 高密度陶瓷纤维棉 |
加热 | 无尘加热丝或不锈钢加热管 |
冷却方式 | 水冷却、风冷却、多段式冷却 |
内腔尺寸W *H *D (mm) | 640 *640* 1100 | 640 *640 * 550 |
外形尺寸W * H *D (mm) | 1700 * 1100 * 1840 | 1800* 1100 * 2040 |
容积 (L) | 160 | 450 |
使用环境 | 温度范围: 小于 + 45°C 湿度范围: 小于 75%rh |
动力配置 | 电源配置 | AC380 3PH | AC380 3PH |
烘箱功率 | 13KVA | 20KVA |
基本功能配置:
漏电保护器;
电磁门锁;
加热保险丝;
电源缺相保护;
超温保护器;
低温保护器;
加热器防干烧保护;
马达转速检测保护;
UPS;
压缩空气检测;
N2流量检测;
水流量检测;
功能选配:
腔体氧含量在线检测;
高低温联动检测;
腔体压力检测;
自动排风阀;
废气沉淀回收装置;
腔体空烧排污;
腔体内除尘过滤网装置;